1. 平台采用敞开式结构,方便拆装维护;
2. 内置光栅或磁栅反馈系统,分辨率可选0.1um,0.5um,lum,5um
3. 采用动磁式平板直线电机
LMA微型平台特点:
1. 平台采用敞开式结构,方便拆装维护;
2. 内置光栅或磁栅反馈系统,分辨率可选0.1um,0.5um,lum,5um;
3. 采用动磁式平板直线电机;
4. 重复精度达到士1 um;
体积小,结构简单,适应于轻负载,高精度的场合;
5. 可任意架构成XY十字平台。
电机型号及参数:
注(1):根据实际的负载质量,会存在达不到最高速度的情况,具体速度可与工程师沟通
1. 平台采用敞开式结构,方便拆装维护;
2. 内置光栅或磁栅反馈系统,分辨率可选0.1um,0.5um,lum,5um;
3. 采用动磁式平板直线电机;
4. 重复精度达到士1 um;
体积小,结构简单,适应于轻负载,高精度的场合;
5. 可任意架构成XY十字平台。
电机型号及参数:
电机常数 | ||
单位 | 数值 | |
连续推力 (在温度Tmax下) | N | 0.6 |
峰值推力 | N | 3 |
电机常数 (在25℃下) | N√W | 0.5 |
最大持续损耗功率 | W | 1.42 |
连续电流 (在温度Tmax下) | Arms | 0.15 |
峰值电流(持续时间1S) | Arms | 0.8 |
推力常数 (25℃,±5%) | N/Arms | 4 |
反电势常数(25℃,±5%) | Vrms/m/s | 1.3 |
电阻(25℃,±5%)P-P | Ω | 30 |
电感(25℃,±20%)P-P | μm | 0.25 |
最高线圈允许温度 | ℃ | 120 |
极距 (N-N) (360℃ 电气周期) | mm | 24 |
电磁吸力 | N | 11 |
平台参数 | ||
单位 | 数值 | |
最大负载 | kg | 1 |
有效行程 | mm | 10 |
分辨率 | μm | 0.1 |
最大速度(1) | mm/s | 200 |
重复精度 | μm | ±0.5 |
平台重量 | kg | 0.1 |
工作环境温度、湿度 | 0-40℃、20-80%RH |
注(1):根据实际的负载质量,会存在达不到最高速度的情况,具体速度可与工程师沟通
样品