高精密激光调阻系统解决方案
摘要信息
激光调阻通过将一束极细的激光束定位在薄膜厚膜电阻上，光束按计算机预定的程序切割电阻，通过改变电阻的横截面积从而改变电阻的阻值。 在激光切割电阻的同时通过高速测量系统实时测量电阻值，使其不断接近目标阻值，当电阻达到目标阻值后激光束关闭， 从而实现电阻的精密修调。 激光调阻系统具有多种修调功能，可以修调厚薄膜电阻器网络、电容网络、瓷基薄膜集成元件和实现混合集成电路功能修调等。
分支分类
精密焊接
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系统特点
自主研发的PMU测量系统，精度高，速度快，一致性好，全量程设计全范围调阻
自主研发的调阻软件系统，支持多种不同调阻刀型，同时满足客户定制化需求
设备功能强大，支持电阻、交直流电压电流等参数修调
设备稳定可靠，修调的产品参数值可靠性高，不会漂移
运行及维护成本低，整机效率高、能耗低，自带防尘、防静电、漏电保护及人身安全保护功能，放心使用
激光切割刀型包括 I型、II型、L型、U型、J型、M型、扫描型、I型集合、I型缩进、L型缩进、U型缩进
市场及行业应用
片式电阻修调（01005、0201、0402、0603、0805、1206、1210、2010、2512）
厚膜电路（汽车电子、传感器、航天军工集成电路、通讯电子、仪器仪表、加热管、工业电子、高频高功率微波电路等中高端应用）
电路功能修调（调节电路输出电压、电流等其它电路功能信号）
薄膜电路，薄膜电阻
自主研发的PMU测量系统，精度高，速度快，一致性好，全量程设计全范围调阻
自主研发的调阻软件系统，支持多种不同调阻刀型，同时满足客户定制化需求
设备功能强大，支持电阻、交直流电压电流等参数修调
设备稳定可靠，修调的产品参数值可靠性高，不会漂移
运行及维护成本低，整机效率高、能耗低，自带防尘、防静电、漏电保护及人身安全保护功能，放心使用
激光切割刀型包括 I型、II型、L型、U型、J型、M型、扫描型、I型集合、I型缩进、L型缩进、U型缩进
市场及行业应用
片式电阻修调（01005、0201、0402、0603、0805、1206、1210、2010、2512）
厚膜电路（汽车电子、传感器、航天军工集成电路、通讯电子、仪器仪表、加热管、工业电子、高频高功率微波电路等中高端应用）
电路功能修调（调节电路输出电压、电流等其它电路功能信号）
薄膜电路，薄膜电阻
系统参数
| 激光 | 激光器类型 | 光纤激光器 |
| 中心波长 | 1064nm | |
| 输出功率 | 20W | |
| 重复频率 | 1-100kHz | |
| 脉冲宽度 | 3-500ns | |
| 典型光斑尺寸 | 15-40μm | |
| 光束定位 | 扫描范围 | 70mm×70mm |
| 扫描分辨率 | 1μm | |
| 重复定位精度 | ±1μm | |
| 视觉 | 同轴监视系统 | 500W像素监视相机 |
| 工作台 | 运动平台 | 带光栅尺直线电机 |
| 运动范围 | 200mm×300mm | |
| 重复定位精度 | ±2μm | |
| 最大运动速度 | 1000mm/s | |
| 测量系统 | 测试系统兼容性 | 可兼容低阻、中阻和高阻测量 |
| 测试方式 | 2线测量或4线测量 | |
| 电阻测量 | 测量范围50mΩ~100MΩ | |
| 低阻：±【0.05%+0.5%/R（Ω）】 | ||
| 中阻：±0.05% | ||
| 高阻：±【0.05% +0.05% x R（MΩ）】】 | ||
| 电压测量 | 测量范围-10V~+50V | |
| 全量程测量精度0.01% | ||
| 测量通道 | 48~288（每块板有48通道，可扩展） | |
| 测量时间 误差补偿 |
2us/次，可根据客户需求自行调整 | |
| 一键自动校准 |
样品
电路功能修调
厚膜电路
片式电阻修调
薄膜电路
