大族激光全自动晶圆边缘ID标记系统（四料盒款）
发布时间：2024.10.22
浏览次数：179次该款设备适用于硅、碳化硅、二氧化硅、氮化镓等晶圆材料的激光加工，配备电动调焦，可根据产品厚度调节高度，配备专业校准器，可任意设定边缘打标位置，可实现反面打标；
该款设备配备双臂机械手并搭载四料盒，同时设备搭配的机械手配备了mapping功能，可自动检测叠层和错位料片，通过全自动上下料、自动定位打标、自动检测等全方位实现自动化加工，提高加工效率；
激光光源方面可自选紫外或绿光激光；
安全性能方面，设备配有INTERLOCK功能，保证人机安全；
该款设备配备双臂机械手并搭载四料盒，同时设备搭配的机械手配备了mapping功能，可自动检测叠层和错位料片，通过全自动上下料、自动定位打标、自动检测等全方位实现自动化加工，提高加工效率；
激光光源方面可自选紫外或绿光激光；
安全性能方面，设备配有INTERLOCK功能，保证人机安全；
