快!准!稳!大族激光打造半导体晶圆检测实力品牌
发布时间:2022.02.11
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据SEMI统计,全球半导体设备2020年的市场规模较2019年598亿美元同比增长19%,达到712亿美元的历史新高。中国首次成为全球最大的半导体设备市场,2020年市场规模增长39%,达到187.2亿美元。未来,全球半导体设备市场规模将持续增长,预计2022年将达到1013亿美元。
晶圆缺陷
半导体晶圆检测设备市场空间巨大
目前国内半导体检测技术与国外差距依旧很大,设备主要依靠进口。
大族激光加速设备国产化进程
大族激光洞悉中国半导体检测市场需求,凭借在LED行业的检测技术经验积累,同时以以色列子公司NEXTEC作为平台,延揽以色列资深视觉检测应用研发人才,组建了一支集合中以优秀检测技术专家的实力雄厚的研发团队。结合以色列团队在半导体检测领域的强劲实力、丰富经验,大族激光紧跟国内客户需求,将快速推进半导体晶圆检测设备的国产化进程。
大族以色列团队依托20余年的行业经验,结合大族中国团队的市场化能力,现已推出最新系列检测产品: IFOX系列自动化光学晶圆检测设备。该设备适用于8寸&12寸 bare wafer和frame wafer的2D宏观缺陷检测、尺寸测量和3D Bump测量,可实现对晶圆各种特征的多维度检测。
IFOX系列自动化光学晶圆检测设备
设备优势
1、快:
● 成像质量:使用最先进的相机技术以实现超快速度且极小像差的扫描;
● 量测集成包:大族激光是第一家使用量测集成包的公司,能够以一种简单方便的方式创建一个快速的量测方案;
2、准:
● 光学系统:使用自主先进的大视野显微镜,配有高级照明系统和即时聚焦技术;
● 缺陷查找:使用先进的智能缺陷算法以克服制程工艺带来的变异;
● 直线高精电机,XYZ平台, 100纳米分辨率;
● 机械结构200纳米精度;
3、稳:
● 洁净化设计 (运动平台在晶圆下侧);
● 浮式基座平台减小设备震动影响。
晶圆缺陷
半导体晶圆检测设备市场空间巨大
目前国内半导体检测技术与国外差距依旧很大,设备主要依靠进口。
大族激光加速设备国产化进程
大族激光洞悉中国半导体检测市场需求,凭借在LED行业的检测技术经验积累,同时以以色列子公司NEXTEC作为平台,延揽以色列资深视觉检测应用研发人才,组建了一支集合中以优秀检测技术专家的实力雄厚的研发团队。结合以色列团队在半导体检测领域的强劲实力、丰富经验,大族激光紧跟国内客户需求,将快速推进半导体晶圆检测设备的国产化进程。
大族以色列团队依托20余年的行业经验,结合大族中国团队的市场化能力,现已推出最新系列检测产品: IFOX系列自动化光学晶圆检测设备。该设备适用于8寸&12寸 bare wafer和frame wafer的2D宏观缺陷检测、尺寸测量和3D Bump测量,可实现对晶圆各种特征的多维度检测。
IFOX系列自动化光学晶圆检测设备
设备优势
1、快:
● 成像质量:使用最先进的相机技术以实现超快速度且极小像差的扫描;
● 量测集成包:大族激光是第一家使用量测集成包的公司,能够以一种简单方便的方式创建一个快速的量测方案;
2、准:
● 光学系统:使用自主先进的大视野显微镜,配有高级照明系统和即时聚焦技术;
● 缺陷查找:使用先进的智能缺陷算法以克服制程工艺带来的变异;
● 直线高精电机,XYZ平台, 100纳米分辨率;
● 机械结构200纳米精度;
3、稳:
● 洁净化设计 (运动平台在晶圆下侧);
● 浮式基座平台减小设备震动影响。